儀器

掃描探針顯微鏡
SPM & Nanoindenter
  • scan size in XY : 90*90um
  • sample roughness limitation ( highest peak to deepest valley ) : 2.738um
  • XY integral ( over the full range ) nonlinearity : < 1 %
  • XY orthogonality : < 1 度
  • Z voltage noise : 0.05nm RMS
  • XY closed loop noise : 2nm RMS , 6nm peak to peak
  • XY flatness : 60nm over 90um
  • XY axis 精確度 : 1A
  • Z axis 精確度 : 0.1A

 

  • 本設備可提供材料機械性質量測,是研究奈米材料之機 械性質重要量測設備之一
  • 適用樣品:薄膜/薄片/塊材
沾筆製造系統
Dip-Pen Nanofabrication System
  • 材料
    • 「硫醇—金」自組單層(SAM, self assembled monolayers)
    • 硫醇材料目前以12烷硫醇為主
    • 金基板以熱蒸鍍方式鍍於以電子束蒸鍍之鉻金屬薄膜
  • 服務項目
    • 線:60 nm (± 10 nm)至600 nm (± 30 nm)線寬的線
    • 點:約1 mm,但目前無法控制尺寸
    • 簡單多邊幾何形狀:三角形、四邊形等
  • 至於其它特殊材料(自行調配者)亦可服務,但無法 保證品質
X光能譜分析儀
EDX for HR-SEM
  1. 元素分析範圍 B(Z=5) ~ U(Z=95)
    1. Resolution-effective range
    2. 138ev 以上
  2. 10 mm2
  3. Detector - Si(Li)
  • 本設備可提供待測物快速元素半定量分析,是分析待測物元素之重要量測設備之一
  • 適用樣品:薄膜/粉體/薄片/塊材
振動樣品測磁儀
Vibrating Sample Magnetometer

原理簡介:
 將待測磁性樣品置於振動頻率固定之石英棒上,於外加磁場下,使用法拉第定律,可得樣品之感應磁化量(M) ,即可得知外加磁場(H)與感應 磁化量(M)之關係,而得M-H圖。

功能簡介:

  1. 低溫到高溫(-150℃~300℃)之磁滯曲線及M(磁化量)-T(溫度)圖。
  2. 最高外加磁場可達12 kOe。
  3. 雙軸感應線圈, 可同時量測x-y方向磁滯曲線。

可量測

  • Virgin Curve
  • Hysteresis Loop
  • Temperature Scan
  • Time Dependence
  • IRM and DCD…… 等.

*本設備可提供快速磁性參數量測,是研究奈米結構磁性体磁性之重要量測設備之一。
** 適用樣品:薄膜/粉體/薄片/塊材

 

低溫測磁儀
Physical Properties Measuring System
  • 物理性質量測系統PPMS
    • Quantum Design PPMS
    • 可做變溫之電性、磁性量測
    • 溫度範圍:1.8K ~ 400K
    • 磁場範圍:+5 T ~ -5 T
    • 靈敏度:1 x 10-7 emu
    • 量測磁滯曲線、磁化率曲線以及電阻量測